光刻机及相关领域：我国高校三剑客 清华大学：牵头做出了光刻机的核心部件——双光

翰林中原说 2025-01-20 15:26:36

光刻机及相关领域：我国高校三剑客 清华大学：牵头做出了光刻机的核心部件——双光件台； 华中科技大学：参与了双光件台的研究，独立研制出了光刻机减振器，附带把光刻胶从工艺到材料弄到全国产化了。 哈尔滨工业大学：完成了13.5纳米极紫外光源的研制。 其他高校在光刻机相关领域的研究成果，欢迎大家晒出来！

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评论列表

加勒比海盗

加勒比海盗

1
2025-01-24 12:26

13.5纳米光源意味着3纳米芯片！牛掰！

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翰林中原说

翰林中原说

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