哈工大最近搞了个大新闻，他们在研究可控核聚变的时候，顺便解决了EUV光刻机的一个关键技术难题。我们知道ASML的EUV光刻机用的是13.5纳米波长的极紫外光源，这东西对制造高端芯片特别重要。现在哈工大不用ASML那一套，自己整出了一个叫“放电等离子体”的新方法，也能得到13.5纳米的极紫外光。 具体怎么做的呢？他们用强电流穿过像锡这样的金属蒸汽，瞬间加热到超级高温，这样就形成了等离子体。这些等离子体在冷却的时候会发出特定波长的光，正好是咱们需要的13.5纳米极紫外光。这个过程有点像打雷时产生的闪电，只不过他们是人为控制的，所以叫做“Z箍缩”。 说到这儿，你可能会问这和核聚变有啥关系？其实原理上有相通的地方，都是通过强大的电流来产生高温高压环境，让物质变成等离子体状态。哈工大的这项技术就是借鉴了这一点，实现了EUV光源的自制。 至于为啥这项技术只拿了省级奖，可能是因为咱们国家现在更关注其他更紧迫的技术突破吧，毕竟科技发展日新月异，每个阶段都有不同的重点。 素材来自网络，如有侵权请及时联系删除
用户13xxx08
是省级奖，我就放心了[滑稽笑]
大天使 回复 01-13 16:00
外国有，我们也搞出来，只能省长。国家奖都是碾压外国的[静静吃瓜]
天青色 回复 01-13 11:17
不重要不重要了，歼36歼50轰20两栖076宇树铭嫡19-22神龙一出来，我滴妈，军迷的胃口那是水涨船高，真的不重要了，我们的目标是星辰大海！
蚂蚁
哈工大：不好意思哈，顺手拿了个奖。
家有三娇 回复 01-15 06:22
感情光刻机光源科技界的顺风车所以显得不太值钱
蚂蚁 回复 01-15 08:03
对于全球唯一一个拥有核打击的学校，省级的奖项人家心里真不算啥。
游客
已经有更先进的了
长风
更强大的受激晶体十几年前就研制出来了。估计是激光炮专用的
正文 禾D
光刻机的光源关键是要稳定输出。
用户79xxx72 回复 01-14 19:44
职工科技创新大赛？水变油又开始吹牛了。
草中黄金浆 回复 01-15 00:38
哈工大这个是可以人为控制的，想怎样就怎样，你说稳不稳
用户75xxx81
省级奖 是怕你骄傲
真的假不了
[滑稽笑][滑稽笑][滑稽笑]
冰之剑
现在又开始吹哈工大了。垃圾小编上面说的技术是阿斯麦尔的。然后再顺便吹一下核聚变。首先来一招偷梁换柱，接着再来一招石破天惊。你赢了。
机器人 回复 01-13 18:48
你才是垃圾！阿斯麦的光源是激光打锡滴，我们的是高压电过锡雾。都能得到13.5纳米波长的极紫外激光。
漫不经心 回复 01-14 10:38
核聚变那个是纯纯的扯淡，但放电等离子体极紫外光源与阿斯麦的激光等离子体极紫外真不是一条技术路径~
华仔
傻缺，锡等离子技术是ASML的专利，哈工大用的不是这个，你想知道用的什么材料？就不说，急死你。
漫步红尘烟火中
[100][100][点赞][点赞]
你好
说的乱七八糟
星海
原理一样
黎黎黎
更为关心的是：有光源了能不能制造出光刻机
用户48xxx31 回复 01-14 10:48
我们现在在出口28纳米光刻机，你不知道吗？
小宝儿 回复 01-13 12:14
还差镜头
寂寥山雀
紫外线为啥配紫色？
苍山负雪 回复 01-13 22:37
都紫外波段了，人肉眼能看到的最低波段就是紫色，那你说拿啥区分？
漫不经心 回复 01-14 10:32
紫外配紫色，红外配红色，不都这么配的吗？
蓝新
光刻四大件齐活儿了，适配成功就能量产了……
lgfdy
省级奖是在国家科学技术将评定之前评出的，省里会推荐到国家级评定的，这是个程序问题。
漫不经心 回复 01-14 10:43
还有一个产业化的问题，现在的成果应该是在实验室完成的，如果能顺利产业化，一个国家级就跑不掉了。
用户79xxx21
省比小国都大，当然有含金量了
用户11xxx47
荷兰面积也没有黑龙江省大，所以省级奖等于国家奖！
广西梧州覃春铭
注意保密。（广西梧州覃春铭）
用户60xxx43
小编胡说八道，文科生没判断力
好大一块砖
估计这小编当年没少发提头来见
煮酒青梅
当今中国没有比解决光刻机问题更重要的事了，涉及到国家前途问题了，还有什么比这还重要
优优悠悠 回复 01-13 19:08
光刻机不重要了，解不解决跟国防军事没有毛关系
呕吼吼 回复 优优悠悠 01-15 07:00
军事是抵抗武器，芯片是推到美国经济支柱之一的芯片产业！
书同文车同轨
中国加油。。
年年有余
国外用的是LPP，哈工大用的是DPP，后面的路比较难走，而且现在的光源功耗还达不到商用，继续努力吧
QYX
现在的技术好像是用激光脉冲，照射微小锡滴。
莫当真 回复 01-13 08:31
asml用的就是激光照射极小锡微粒，使其等离子化，辐射出的就是极紫外线
用户79xxx72
职工科技创新大赛？水变油又开始吹牛了。
阿健创意铺子
阿斯麦是用小锡珠，我们用锡蒸气比较接近，但总归浇过了专利
夏日寒风刺骨
有没有可能这个发现不具备实用价值？？
马虎 回复 01-13 09:23
商业化还有很长的路要走。
福清咩野
又放卫星
申~渝
如果我手上有空天母舰的发明专利，能拿个什么奖？[墨镜][墨镜]
万古刀
搂草顺手逮个兔子
杰特大船长
重点是 哈工大
时代
再放点作料:马院士+六代机+房地产+爆震发动机，最后是什么？是登月？
石龙子
主要是镜头搞不定。
胡八一
都别激动了，euv光刻机技术上从来不是问题，这玩意儿在国内的难度是需要几年时间做生产化调试，这东西技术难度在国内三颗星难度都达不到。
赚钱养佳
怕别人不知道怎么搞吗？
谢荣新
这种光源稳定不？
飘云雪亮
哈工大，好样的！
无声狂啸
这只是一种可行技术路线的探索而已，就像毛熊想要用氪而不是锡蒸汽制造极紫外光一样。要产业化还早，这就是它只能拿省级奖的原因
不渝初心
🤫嘘~~别乱胡说，其实就是一个普普通通的LED筒灯，就是瓦数做得很大而已。
我是你得不到的美男子
卧槽，省级奖！幸亏不是市级奖[哭笑不得][哭笑不得]
深夜码客
[静静吃瓜]
深夜码客
[静静吃瓜]
用户17xxx10
看看用其他物质能不能发出更短的波长。
Prometheusjoe
呃，各位要不要看看正经科普，这实现原理是不就是现在euv光源的过程么…AI抓取错误了？
拒绝呼吸
这就教会我们了，把目标搞高点，，有意想不到的好处
水榭听雨
不可能核聚变可控的，你能达到光速吗，你能达到绝对零度吗
我是摄像 王柯斌
省级奖 证明这个不是大招，这下稳了
绿色森林
等转化为生产力了再评国家奖
逗你个瓜
国外芯片以后可能就像圆珠笔头一样的下场
北风
技术属于谁？
人马座卯兔
哈功夫说这是科技衍生品
用户10xxx33
目前功率还差不少，阿斯迈euv光源功率500 w以上，这个目前攻略45w，还需要想办法解决这个问题，才能商用。
Tyx
泄密了
yisgoli
极紫光源并不是制约EUV光刻机的关键
西门吹吹
二氧化碳做的面粉还没吃上，这5nm光刻机触手可及[哭笑不得]
追风少年
估计还没等到国家评奖的时候，先顺便拿个省级奖！
随便说说 回复 01-13 10:32
评国家级还差点。竞争激烈。