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锗硅酸盐波导技术落地,重塑集成光子产业格局

1970年,康宁公司造出第一根低损耗光纤,人类从此进入了光通信时代。半个多世纪后的2026年,加州理工学院等机构的研究团

1970年,康宁公司造出第一根低损耗光纤,人类从此进入了光通信时代。半个多世纪后的2026年,加州理工学院等机构的研究团队在《自然》杂志上发布了一项里程碑式成果:首次将构成光纤核心的“神奇材料”——锗硅酸盐(Ge-silica),以完全兼容现有CMOS半导体工艺的方式集成到光子芯片上,实现了从紫光(458nm)到红外光(1550nm)全波段的“光纤级”超低损耗传输。

光纤材料“上芯片”,难在哪?

传统光子芯片在短波长(可见光与近红外波段)下面临两大损耗机制:表面瑞利散射与材料吸收。波长越短,光越容易受表面粗糙度影响而散射。虽然二氧化硅与掺锗二氧化硅在光纤中早已表现出极低的材料吸收,但将其转化为平面集成光子电路,却一直面临巨大的工艺挑战。

研究团队的突破在于:利用等离子体增强化学气相沉积技术,结合深紫外步进式光刻和干法刻蚀,在硅晶圆上制备出高质量的锗硅酸盐波导。关键一步是引入高温回流退火工艺——借助锗硅酸盐的低黏度特性,让波导侧壁在表面张力作用下实现原子级平滑,将散射损耗降至最低。

数字会说话:0.08dB/m意味着什么?

测试结果令人震撼:在1064nm波长处,本征Q值达到4.63亿,对应波导损耗仅0.08dB/m。这个数字接近1970年第一根低损耗光纤的水平。在传统芯片损耗最大的紫光波段(458nm),损耗为0.49dB/m,比此前最佳记录降低了整整13dB。

更关键的是,该平台无需高温退火即可实现1550nm处0.15dB/m的超低损耗,比现有未退火平台在C波段的损耗降低10倍以上。这意味着它可以与温度敏感器件直接集成,解决了高性能与可集成性长期矛盾的问题。

不止于低损耗:三大应用打开想象空间

研究团队演示了三个关键应用:

一是光学频率梳。通过精密设计波导几何形状,在单个微环谐振腔内直接产生了孤子光学频率梳,重复频率21.2GHz。

二是片上布里渊激光。通过锗掺杂降低波导芯的纵向声速,实现光场与声场的同时局域,演示了高效的受激布里渊激光。

三是赫兹级超窄线宽激光。将超高Q值微环与半导体激光器集成,在632nm、512nm和444nm波长分别实现15赫兹、12赫兹和90赫兹的极限线宽。

这项技术的深远意义在于:它让光子芯片第一次拥有了光纤级别的传输性能,而制造工艺却完全兼容现有半导体产线。从光计算到量子网络,从生物成像到水下通信——当光子在芯片上不再“摔跤”,整个光子学产业的天花板被一举抬升。