俄罗斯目前仍有5台ASML光刻机可用，尽管这些设备已相当过时，有的甚至已服役15至20年。面对来自多国和地区的制裁，俄罗斯在半导体芯片及设备的进口上遭遇重重限制，这促使俄罗斯加大对自主研发和本土制造芯片的投入，但依旧面临设备、材料等多方面的挑战。
尽管俄罗斯在本土生产高性能、商业上可行的微芯片方面缺乏现代技术，但并不意味着当地制造商在半导体芯体生产上一无所知。事实上，苏联时代就已开发了老式的芯片生产技术。
例如，Mikron公司已掌握大规模生产中的180nm技术和单件生产中的90nm技术，这显示了俄罗斯在芯片生产技术上的积累和实力。
此外，俄罗斯科学院透露，计划在2028年制造出7纳米芯片光刻机，预示着未来技术发展的雄心。
值得注意的是，ASML公司坚称，俄罗斯的光刻设备零件多是从第三国进口的拆除旧设备所得，且ASML不提供对俄罗斯光刻设备的维修服务。然而，仍有大量相关零件在制造商难以控制的二级市场上流通。
