目前全球知名的光刻机厂商其实就4家,一家是荷兰的ASML,一家是中国大陆的上海微电子,还有两家是日本的尼康、佳能。
当然,大哥是ASML,覆盖了高、中、低端,特别是EUV光刻机,全球只有他一家能够生产。而尼康则达到了中端,至于佳能、上海微电子,则还是低端。

这三大企业,各自所处的位置,也给大家放一张图,大家就会明白为什么ASML是王者了。
如下图所示,只有ASML达到了EUV水平,而在浸润式方面,依然还是ASML为王,尼康虽然也有,但出货量极少,至于佳能、上海微电子,大家看图就会明白的,不用我多说了。

光刻方案是目前大规模制造芯片的唯一方案,其它的像什么电子束、纳米压印等,都实现不了大规模制造,只能小批量,所以研发光刻机,是中国芯片产业绕不过的。
这些年,上海微电子在研发,还有新凯莱等也在研发,近日传出消息,那就是有一家国产企业,研发出了首台350nm步进光刻机,并且完成了出厂调试与验收,启程发往客户现场。
当然了,说起来350nm的步进光刻机,按照这种第几代来算,确实不算先进,属于第二代产物,而目前像ASML早达到了第6代,并且是第六代EUV的第二代Hige NA EUV了。

但是,不能单纯的看350nm这个分辨率,这台350nm的步进式光刻机,主要是用于以碳化硅(SiC)新型芯片领域的。
要知道碳化硅(SiC)这种芯片,现在广泛用于5G通信、新能源汽车、光通信、激光雷达、Micro LED,已经是越来越重要,被称之为第二代半导体。

这些半导体的制造,对工艺要求不那么高,但是同样需要高精度、高稳定性的光刻工艺支持。
所以这台步进式350nm的光刻机,就是为了这些芯片而生的,并不能单纯以350nm分辨率来判定它就是低端的光刻机,好就片面了。
另外,芯上微装这家公司,他是从上海微电子分拆出来的,继承了上海微电子的一些技术和订单,所以技术实力是非常强的。
接下来,就让我们期待一下,这家国产光刻机厂商,再创更多的辉煌。