英特尔德国晶圆厂Fab29蓝图曝光,将安装High-NAEUV光刻机

科闻社 2024-03-04 17:02:20

英特尔(Intel)最近在德国晶圆厂Fab29项目上迈出了坚实的一步,其蓝图曝光显示该项目将成为全球半导体制程领域的领先者。本文将综合两则文章,深入剖析Fab29的规划和影响。

Fab29项目概览

根据最新的蓝图,Fab29位于德国马格德堡,占地相当大,而目前一期建筑仅占总面积的约1/4,表明英特尔有望未来进一步扩大其生产规模。此项目涵盖Fab29.1和Fab29.2两座建筑,分别高三层,总长530米,总宽153米,占地面积达约81000平方米。

制程先进性

根据英特尔首席执行官帕特基辛格(Pat Gelsinger)的表态,一旦Fab29投产,将具备世界最先进的芯片制造能力。预计首批两座晶圆厂将在2027年第四季度开始运营,使用Intel 14A和Intel 10A两个先进节点制程。不仅如此,英特尔还为未来留有空间,可再兴建另外六座晶圆厂,为其在全球范围内的半导体制程提供了更大的发展空间。

技术装备升级

Fab29项目将引入High-NA EUV光刻机,使其在半导体工艺设备方面处于领先地位。特别是第二层将成为High-NA EUV光刻机的安装地,上下两层用于材料物流,为制程提供必要的资源。这意味着Fab29将能够应用49次High-NA EUV光刻和总共2030次标准EUV光刻,进一步提高芯片制程的精度和效率。

Fab29项目不仅注重技术领先,还强调可持续性。英特尔计划使用电池储能系统代替传统的柴油发电机作为备用电源,体现了对环保和可持续性的承诺。此外,项目还包括了多个辅助建筑,如冷却器、仓库、数据中心等,构筑了一个完整的晶圆生产生态系统。

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