超结（Superjunction）是一种特殊的MOSFET结构，通过减小导通电阻实现了更低的功耗。该技术被广泛应用于高压、低功耗领域，如600V平面VDMOS、700V超结MOSFET等。超结的制造工艺包括多层外延沉积和深沟槽刻蚀，也包括深扩散和高能注入等。此外，超结还可用于二极管等其他器件。
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特殊的MOSFET结构
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